分子泵的清洗： 將分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一個(gè)適合的容器中。 6．往容器中用人無(wú)水酒精，高度以前級(jí)真空接口略低為宜，如下圖。 7．上下活動(dòng)分子泵幾次，便于分子泵的定子和轉(zhuǎn)子的葉片清洗，在無(wú)水酒精中浸泡大概5～10分鐘。 8．換掉無(wú)水酒精，加入新的無(wú)水酒精，重復(fù)前面的工作，最少要重復(fù)一次。 9．拿出分子泵。 10．將高真空接口朝上，從垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性軸承中的酒精。
一般來(lái)講，如果說(shuō)前級(jí)泵沒(méi)有問(wèn)題，而 真空在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)沒(méi)有達(dá)到規(guī)定的真空值 或者有漏氣(排除其它的漏氣)、或著解吸 附作用降低，說(shuō)明真空泵有點(diǎn)臟了，需要進(jìn) 行清洗，這時(shí)不用進(jìn)行拆卸就可以直接進(jìn)行 清洗，如果太臟的話，就必須進(jìn)行拆卸清理 了。
