廣州帕納光電科技有限公司位于廣州市白云區(qū),專業(yè)維修和出售高真空ALCATEL MDP5101分子泵及其配件
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渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)型式與工作原理:
渦輪分子泵在結(jié)構(gòu)上有立式和臥式之分,渦輪分子泵的工作原理很簡(jiǎn)單。當(dāng)氣體分子以VP1 碰撞到運(yùn)轉(zhuǎn)速度為VB(400 m/s)的表面上,就會(huì)被攜帶轉(zhuǎn)向到葉片的運(yùn)動(dòng)方向上如VP2。典型的渦輪分子泵是在分子流范圍內(nèi)工作的。入口壓力可以1×10- 3 Torr 延至10- 11 Torr。渦輪分子泵葉片在非常高的速度下,使氣體分子被連續(xù)不斷地折射,轉(zhuǎn)向和壓縮,氣體分子被葉列壓縮到前級(jí)側(cè)后被前級(jí)泵排出。典型的前級(jí)泵多為小型的油封式旋片泵或干式機(jī)械泵。
泵中的這種旋轉(zhuǎn)的渦輪葉列稱為轉(zhuǎn)子,被裝在由軸承支撐的軸上。兩個(gè)轉(zhuǎn)子葉片圓盤之間有靜止的渦輪葉片稱作定子。它安裝在泵殼內(nèi),每一對(duì)轉(zhuǎn)子和定子構(gòu)成一級(jí)壓縮。氣體分子通過泵的入口經(jīng)多級(jí)葉列壓縮后排到出口處,多級(jí)壓縮可有很高的壓縮比,故在入口處可獲得非常低的壓力(非常高的真空度)。
渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn):
(1)清潔,無油蒸汽返流
渦輪分子泵可不用任何阱,按操作規(guī)程工作,就能為被抽容器提供一個(gè)極為清潔的真空環(huán)境,且不含有任何碳?xì)浠衔?。由于現(xiàn)代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤(rùn)滑的了,對(duì)于小泵多用油脂潤(rùn)滑,也有用空氣軸承的,但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少干式前級(jí)泵出現(xiàn),使渦輪分子泵系統(tǒng)不存在油蒸汽返流,使它真正成為一種清潔的干式高真空泵
(2)使用方便
在許多應(yīng)用中,渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。只是簡(jiǎn)單地一按電鈕,泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統(tǒng)可以通過渦輪分子泵進(jìn)行粗抽,可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時(shí)也消除了這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統(tǒng)所占的空間小,而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制,可在任意方向安裝(用油潤(rùn)滑的泵除外,它只能在垂直 5 范圍內(nèi)工作)。這個(gè)特點(diǎn),可用于安裝位置受限制的地方。