4（四）路質(zhì)子流量計(jì)，混氣系統(tǒng)

      （咨詢熱線：18037128757，產(chǎn)品鏈接地址：http://www.zzkjdl.com/vacuumfeed/gongqi/201509171.html）

　　產(chǎn)品型號(hào)：4路質(zhì)子流量計(jì)

　　主要用途：可用于搭建CVD系統(tǒng)，也可為樣品退火提供所需的氣氛環(huán)境。

　　一、概述

　　1．氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過質(zhì)子流量計(jì)控制氣體流量，然后經(jīng)過混氣罐，再進(jìn)入爐子進(jìn)氣口，氣體從出氣管出來，經(jīng)過三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。

　　2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計(jì)安裝在同一面板上。

　　3．每一條氣體管路均有一個(gè)高壓截止閥，安全有保證。

　　4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計(jì)，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。

　　5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。

　　二、技術(shù)參數(shù)：

　　氣路通道：4

　　氣路流量控制：質(zhì)子流量控制器。

　　接口：Φ6

　　顯示：LED

　　工作環(huán)境溫度:5~45℃

　　流量控制器：質(zhì)子流量控制器（詳細(xì)技術(shù)參數(shù)請(qǐng)查看后面）

　　四氟管：Φ6外XΦ4內(nèi)

　　壓力真空表：－0.1～0.15MPa,0.01MPa/格

　　截止閥：Φ6

　　三、供氣系統(tǒng)內(nèi)部壓力不能過大，不然容易造成漏氣，只要?dú)怏w能正常流出來即可。

　　四、供氣系統(tǒng)的配置：

　　1、質(zhì)子流量計(jì)：4個(gè)

　　2、壓力表：1個(gè)

　　3、截止閥門：5個(gè)

　　4、穿板接頭：5個(gè)

　　5、閥門接頭：2個(gè)

　　6、鋼瓶接頭:4個(gè)

　　7、聚四氟乙烯管：20M

　　8、混氣罐：1個(gè)

　　9、爐架：1臺(tái)

　　質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù)：質(zhì)子流量控制器普通型，模擬電路，橡膠密封，管狀分流，不易堵塞。

　　主要指標(biāo):

　　量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM（你可以任意選擇量程）

　　準(zhǔn)確度：±1.5%F.S

　　線性：±0.5～1.5%F.S

　　重復(fù)精度：±0.2%F.S

　　響應(yīng)時(shí)間：10S

　　氣壓降：<0.01MPa

　　最大壓力：3MP

　　工作環(huán)境溫度：5～45℃

　　輸入輸出信號(hào)：0～+5.00V

　　電源：+15V50mA-15V50mA

　　外形尺寸：158*30*110