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渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)型式與工作原理：

渦輪分子泵在結(jié)構(gòu)上有立式和臥式之分，渦輪分子泵的工作原理很簡單。當氣體分子以VP1 碰撞到運轉(zhuǎn)速度為VB(400 m/s)的表面上，就會被攜帶轉(zhuǎn)向到葉片的運動方向上如VP2。典型的渦輪分子泵是在分子流范圍內(nèi)工作的。入口壓力可以1×10- 3 Torr 延至10- 11 Torr。渦輪分子泵葉片在非常高的速度下，使氣體分子被連續(xù)不斷地折射，轉(zhuǎn)向和壓縮，氣體分子被葉列壓縮到前級側(cè)后被前級泵排出。典型的前級泵多為小型的油封式旋片泵或干式機械泵。

泵中的這種旋轉(zhuǎn)的渦輪葉列稱為轉(zhuǎn)子，被裝在由軸承支撐的軸上。兩個轉(zhuǎn)子葉片圓盤之間有靜止的渦輪葉片稱作定子。它安裝在泵殼內(nèi)，每一對轉(zhuǎn)子和定子構(gòu)成一級壓縮。氣體分子通過泵的入口經(jīng)多級葉列壓縮后排到出口處，多級壓縮可有很高的壓縮比，故在入口處可獲得非常低的壓力(非常高的真空度)。

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