廣州帕納光電科技有限公司庫存提供PFEIFFER分子泵,快速維修TPU510及原廠配件
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當今,現(xiàn)代化的半導體行業(yè)中,越來越多地應用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設(shè)備都需要在真空環(huán)境下運行。又如電子顯微鏡,表面分析儀器,殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來抽真空。此外,在宇宙模擬設(shè)備、核聚變裝置、太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴散泵系統(tǒng),以防止油蒸汽的污染。因此,最近十幾年來,渦輪分子泵,在國內(nèi)、外都得到了顯著的改進和發(fā)展。在渦輪分子泵的應用日益增加干式的前級泵還沒有大量普及和應用的情況下,有時還不得不用油封機械泵來作渦輪分子泵的前級泵。因此,針對這種現(xiàn)狀,對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。弄清楚渦輪分子泵的特點和使用方法,對用戶是很必要的。
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