對(duì)顆粒物或沉積物敏感 :若物體(螺釘、玻璃碎片、燈絲或硅片)落入正在運(yùn)轉(zhuǎn)的渦輪分子泵中,渦輪會(huì)遭到損壞,往往需返回制造廠進(jìn)行維修。一旦出事故損壞就是嚴(yán)重的,不會(huì)有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為了工作安全起見,在泵入口處裝上細(xì)孔眼的過(guò)濾網(wǎng),以保護(hù)泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。這種措施對(duì)泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物,會(huì)造成對(duì)葉片的磨損和通道堵塞,也會(huì)影響轉(zhuǎn)子的不平衡。如果一些粒子進(jìn)入軸承,造成磨損,能降低泵的工作壽命。因此在某些應(yīng)用中,安裝保護(hù)措施是必要的。
廣州帕納光電科技有限公司 維修銷售分子泵、leybold、pfeiffer、varian、edwards暢銷消費(fèi)者市場(chǎng),在消費(fèi)者當(dāng)中享有較高的地位,公司與多家零售商和代理商建立了長(zhǎng)期穩(wěn)定的合作關(guān)系。
渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)和工作原理
應(yīng)用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向活動(dòng)而抽氣的真空泵。渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快,能抗各種射線的映照,耐大氣沖擊,無(wú)氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng),無(wú)油蒸氣污染或污染很少,能取得清潔的超高真空。渦輪分子泵普遍用于高能加速器、可控?zé)岷朔错懓惭b、重粒子加速器和高級(jí)電子器件制造等方面。
廣州帕納光電科技有限公司極速維修和銷售LEYBOLD TMP340MC高真空分子泵,轉(zhuǎn)速每分鐘45000轉(zhuǎn),抽速400升,真空度10的-10,用于半導(dǎo)體行業(yè)