有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。在這個壓力范圍內(nèi)，離子泵不能應(yīng)用，對于低溫泵需要節(jié)流抽速或經(jīng)常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩(wěn)定。

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渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)型式與工作原理：

渦輪分子泵在結(jié)構(gòu)上有立式和臥式之分，渦輪分子泵的工作原理很簡單。當(dāng)氣體分子以VP1 碰撞到運轉(zhuǎn)速度為VB(400 m/s)的表面上，就會被攜帶轉(zhuǎn)向到葉片的運動方向上如VP2。典型的渦輪分子泵是在分子流范圍內(nèi)工作的。入口壓力可以1×10- 3 Torr 延至10- 11 Torr。渦輪分子泵葉片在非常高的速度下，使氣體分子被連續(xù)不斷地折射，轉(zhuǎn)向和壓縮，氣體分子被葉列壓縮到前級側(cè)后被前級泵排出。典型的前級泵多為小型的油封式旋片泵或干式機械泵。

泵中的這種旋轉(zhuǎn)的渦輪葉列稱為轉(zhuǎn)子，被裝在由軸承支撐的軸上。兩個轉(zhuǎn)子葉片圓盤之間有靜止的渦輪葉片稱作定子。它安裝在泵殼內(nèi)，每一對轉(zhuǎn)子和定子構(gòu)成一級壓縮。氣體分子通過泵的入口經(jīng)多級葉列壓縮后排到出口處，多級壓縮可有很高的壓縮比，故在入口處可獲得非常低的壓力(非常高的真空度)。

由于渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現(xiàn)得更優(yōu)越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優(yōu)點有： (1)清潔，無油蒸汽返流   渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規(guī)程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環(huán)境，且不含有任何碳?xì)浠衔铩Ｓ捎诂F(xiàn)代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的了，對于小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少干式前級泵出現(xiàn)，使渦輪分子泵系統(tǒng)不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的干式高真空泵.