由于渦輪分子泵在某些方面,要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現(xiàn)得更優(yōu)越。故在一般情況下,多選用渦輪分子泵。它的優(yōu)點有: (1)清潔,無油蒸汽返流 渦輪分子泵可不用任何阱,按操作規(guī)程工作,就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環(huán)境,且不含有任何碳氫化合物。由于現(xiàn)代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的了,對于小泵多用油脂潤滑,也有用空氣軸承的,但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少干式前級泵出現(xiàn),使渦輪分子泵系統(tǒng)不存在油蒸汽返流,使它真正成為一種清潔的干式高真空泵.
渦輪分子泵的優(yōu)點:
(1)清潔,無油蒸汽返流
渦輪分子泵可不用任何阱,按操作規(guī)程工作,就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環(huán)境,且不含有任何碳氫化合物。由于現(xiàn)代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的了,對于小泵多用油脂潤滑,也有用空氣軸承的,但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少干式前級泵出現(xiàn),使渦輪分子泵系統(tǒng)不存在油蒸汽返流,使它真正成為一種清潔的干式高真空泵
(2)使用方便
在許多應(yīng)用中,渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。只是簡單地一按電鈕,泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統(tǒng)可以通過渦輪分子泵進行粗抽,可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除了這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統(tǒng)所占的空間小,而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制,可在任意方向安裝(用油潤滑的泵除外,它只能在垂直 5 范圍內(nèi)工作)。這個特點,可用于安裝位置受限制的地方。
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性能和特性
泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為緊縮比。緊縮比除與泵的級數(shù)和轉(zhuǎn)速有關(guān)外,還與氣體品種有關(guān)。分子量大的氣體有高的緊縮比。對氮(或空氣)的緊縮比為108~109;對氫為102~104;對分子量大的氣體如油蒸氣則大于1010。泵的極限壓力為10-9帕,工作壓力范圍為10-1~10-8帕,抽氣速率為幾十到幾千升每秒(1升=10-3米3)。渦輪分子泵必需在分子流狀態(tài)(氣體分子的均勻自在程遠大于導(dǎo)管截面最大尺寸的流態(tài))下工作才干顯現(xiàn)出它的優(yōu)越性,因而請求配有工作壓力為1~10-2帕的前級真空泵。分子泵自身由轉(zhuǎn)速為10000~60000轉(zhuǎn)/分的中頻電動機直聯(lián)驅(qū)動。