廣州帕納光電科技有限公司由從事多年維修高真空分子泵的高級工程師組成,現(xiàn)貨銷售和維修BOC EDWARDS STP H600C分子泵,分子泵配件,堅持使用原裝進口陶瓷軸承,緊貼國內(nèi)外真空行業(yè)
廣州帕納光電科技有限公司經(jīng)銷的分子泵、leybold、pfeiffer、varian、edwards品種齊全、價格合理。廣州帕納光電科技有限公司實力雄厚,重信用、守合同、保證產(chǎn)品質(zhì)量,以多品種經(jīng)營特色和薄利多銷的原則,贏得了廣大客戶的信任。
當今,現(xiàn)代化的半導體行業(yè)中,越來越多地應用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設備都需要在真空環(huán)境下運行。又如電子顯微鏡,表面分析儀器,殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來抽真空。此外,在宇宙模擬設備、核聚變裝置、太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴散泵系統(tǒng),以防止油蒸汽的污染。因此,最近十幾年來,渦輪分子泵,在國內(nèi)、外都得到了顯著的改進和發(fā)展。在渦輪分子泵的應用日益增加干式的前級泵還沒有大量普及和應用的情況下,有時還不得不用油封機械泵來作渦輪分子泵的前級泵。因此,針對這種現(xiàn)狀,對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。弄清楚渦輪分子泵的特點和使用方法,對用戶是很必要的。
一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵,配以性能良好的雙級旋片泵(或同樣性能的干式前級泵),其極限真空一般可達到10- 9~10- 10Torr(即133.3~13.33 nPa)之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵,用金屬密封并除氣良好的泵,一般其極限壓力在1 10- 10~1 10-11 Torr (即13.33~1.333 nPa)之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣,渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉(zhuǎn)。這些性能再加上它有良好的清潔性(測不到碳氫化合物),顯然用戶會選擇渦輪分子泵用于高分辨率質(zhì)譜儀,分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。