本設(shè)備是用于太陽(yáng)能光伏行業(yè)與PECVD承載車配套，裝去硅片，配制高效過(guò)濾器，空氣通過(guò)高效過(guò)濾器后，均流層送出，使?jié)崈舻目諝鈿饬鞔怪眴蜗蛩腿胙b片工作區(qū)，從而保證了工作區(qū)達(dá)到工藝要求的潔凈度。
點(diǎn)
① 能夠確保與PECVD石墨舟承載車準(zhǔn)確定位；
② 采用SUS304不銹鋼制造，整機(jī)結(jié)構(gòu)堅(jiān)固可靠；
③ 初、高效空氣過(guò)濾器過(guò)濾后的凈化空氣根據(jù)需求定時(shí)向操作區(qū)內(nèi)循環(huán)送風(fēng)；
④ 確保工作區(qū)域內(nèi)達(dá)到工藝的潔凈度。
⑤ PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度;