本設備是用于太陽能光伏行業(yè)與PECVD承載車配套，裝去硅片，配制高效過濾器，空氣通過高效過濾器后，均流層送出，使?jié)崈舻目諝鈿饬鞔怪眴蜗蛩腿胙b片工作區(qū)，從而保證了工作區(qū)達到工藝要求的潔凈度。
點
① 能夠確保與PECVD石墨舟承載車準確定位；
② 采用SUS304不銹鋼制造，整機結(jié)構(gòu)堅固可靠；
③ 初、高效空氣過濾器過濾后的凈化空氣根據(jù)需求定時向操作區(qū)內(nèi)循環(huán)送風；
④ 確保工作區(qū)域內(nèi)達到工藝的潔凈度。
⑤ PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度;