廣州帕納光電科技有限公司從事PFEIFFER TMH071P分子泵和驅(qū)動(dòng)器TC100的維修及現(xiàn)貨銷(xiāo)售,廣泛用于醫(yī)療行業(yè)

低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱(chēng)冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。

抽氣原理

在低溫泵內(nèi)設(shè)有由液氦或制冷機(jī)冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結(jié)，并保持凝結(jié)物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力，從而達(dá)到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。①低溫冷凝：氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時(shí)，冷板溫度必須低于 25K；抽氫時(shí)，冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達(dá)10毫米左右。②低溫吸附：氣體分子以一個(gè)單分子層厚 (10-8厘米數(shù)量級(jí))被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在 20K時(shí)氫的蒸氣壓力等于大氣壓力，用 20K的活性炭吸氫時(shí)吸附平衡壓力則低于10-8 帕。這樣就可能在較高溫度下通過(guò)低溫吸附來(lái)進(jìn)行抽氣。③低溫捕集：在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子，被不斷增長(zhǎng)的可冷凝氣體層埋葬和吸附。

廣州帕納光電科技有限公司 維修銷(xiāo)售分子泵、leybold、pfeiffer、varian、edwards暢銷(xiāo)消費(fèi)者市場(chǎng)，在消費(fèi)者當(dāng)中享有較高的地位，公司與多家零售商和代理商建立了長(zhǎng)期穩(wěn)定的合作關(guān)系。

渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)型式與工作原理：

渦輪分子泵在結(jié)構(gòu)上有立式和臥式之分，渦輪分子泵的工作原理很簡(jiǎn)單。當(dāng)氣體分子以VP1 碰撞到運(yùn)轉(zhuǎn)速度為VB(400 m/s)的表面上，就會(huì)被攜帶轉(zhuǎn)向到葉片的運(yùn)動(dòng)方向上如VP2。典型的渦輪分子泵是在分子流范圍內(nèi)工作的。入口壓力可以1×10- 3 Torr 延至10- 11 Torr。渦輪分子泵葉片在非常高的速度下，使氣體分子被連續(xù)不斷地折射，轉(zhuǎn)向和壓縮，氣體分子被葉列壓縮到前級(jí)側(cè)后被前級(jí)泵排出。典型的前級(jí)泵多為小型的油封式旋片泵或干式機(jī)械泵。

泵中的這種旋轉(zhuǎn)的渦輪葉列稱(chēng)為轉(zhuǎn)子，被裝在由軸承支撐的軸上。兩個(gè)轉(zhuǎn)子葉片圓盤(pán)之間有靜止的渦輪葉片稱(chēng)作定子。它安裝在泵殼內(nèi)，每一對(duì)轉(zhuǎn)子和定子構(gòu)成一級(jí)壓縮。氣體分子通過(guò)泵的入口經(jīng)多級(jí)葉列壓縮后排到出口處，多級(jí)壓縮可有很高的壓縮比，故在入口處可獲得非常低的壓力(非常高的真空度)。