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一般說來，泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時，水的蒸氣壓已低于10-8帕。溫度為20K時，除氦、氖和氫外，其他氣體的蒸氣壓也低于10-8帕。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同，泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對于室溫下的容器，低溫板為20K時，泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。
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渦輪分子泵的結構型式與工作原理：
渦輪分子泵在結構上有立式和臥式之分，渦輪分子泵的工作原理很簡單。當氣體分子以VP1 碰撞到運轉速度為VB(400 m/s)的表面上，就會被攜帶轉向到葉片的運動方向上如VP2。典型的渦輪分子泵是在分子流范圍內工作的。入口壓力可以1×10- 3 Torr 延至10- 11 Torr。渦輪分子泵葉片在非常高的速度下，使氣體分子被連續(xù)不斷地折射，轉向和壓縮，氣體分子被葉列壓縮到前級側后被前級泵排出。典型的前級泵多為小型的油封式旋片泵或干式機械泵。
泵中的這種旋轉的渦輪葉列稱為轉子，被裝在由軸承支撐的軸上。兩個轉子葉片圓盤之間有靜止的渦輪葉片稱作定子。它安裝在泵殼內，每一對轉子和定子構成一級壓縮。氣體分子通過泵的入口經多級葉列壓縮后排到出口處，多級壓縮可有很高的壓縮比，故在入口處可獲得非常低的壓力(非常高的真空度)。
