廣州帕納光電科技有限公司 維修銷售分子泵、leybold、pfeiffer、varian、edwards暢銷消費(fèi)者市場,在消費(fèi)者當(dāng)中享有較高的地位,公司與多家零售商和代理商建立了長期穩(wěn)定的合作關(guān)系。
渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)型式與工作原理:
渦輪分子泵在結(jié)構(gòu)上有立式和臥式之分,渦輪分子泵的工作原理很簡單。當(dāng)氣體分子以VP1 碰撞到運(yùn)轉(zhuǎn)速度為VB(400 m/s)的表面上,就會被攜帶轉(zhuǎn)向到葉片的運(yùn)動方向上如VP2。典型的渦輪分子泵是在分子流范圍內(nèi)工作的。入口壓力可以1×10- 3 Torr 延至10- 11 Torr。渦輪分子泵葉片在非常高的速度下,使氣體分子被連續(xù)不斷地折射,轉(zhuǎn)向和壓縮,氣體分子被葉列壓縮到前級側(cè)后被前級泵排出。典型的前級泵多為小型的油封式旋片泵或干式機(jī)械泵。
泵中的這種旋轉(zhuǎn)的渦輪葉列稱為轉(zhuǎn)子,被裝在由軸承支撐的軸上。兩個轉(zhuǎn)子葉片圓盤之間有靜止的渦輪葉片稱作定子。它安裝在泵殼內(nèi),每一對轉(zhuǎn)子和定子構(gòu)成一級壓縮。氣體分子通過泵的入口經(jīng)多級葉列壓縮后排到出口處,多級壓縮可有很高的壓縮比,故在入口處可獲得非常低的壓力(非常高的真空度)。
渦輪分子泵:
利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。渦輪分子泵的優(yōu)點是啟動快,能抗各種射線的照射,耐大氣沖擊,無氣體存儲和解吸效應(yīng),無油蒸氣污染或污染很少,能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器和高級電子器件制造等方面。
立式渦輪分子泵
各種不同結(jié)構(gòu)的分子泵,主要有立式和臥式兩種,圖2為立式渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)圖。渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉(zhuǎn)子(即動葉輪)、靜葉輪和驅(qū)動系統(tǒng)等組成。動葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動的速度(一般為150~400米/秒)。單個葉輪的壓縮比很小,渦輪分子泵要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。圖2為20個動葉輪組成的整體式轉(zhuǎn)子。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定并使動、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動葉輪可在靜葉輪間自由旋轉(zhuǎn)。
廣州帕納光電科技有限公司從事高真空分子泵的維修及銷售,提供PFEIFFER TMH261和驅(qū)動器TC600現(xiàn)貨維修和銷售,用于光盤,半導(dǎo)體行業(yè),質(zhì)譜議等,轉(zhuǎn)速達(dá)到60000轉(zhuǎn)每分,抽速210L,抽口ISO200,