對(duì)顆粒物或沉積物敏感 ：若物體（螺釘、玻璃碎片、燈絲或硅片）落入正在運(yùn)轉(zhuǎn)的渦輪分子泵中，渦輪會(huì)遭到損壞，往往需返回制造廠進(jìn)行維修。一旦出事故損壞就是嚴(yán)重的，不會(huì)有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為了工作安全起見，在泵入口處裝上細(xì)孔眼的過濾網(wǎng)，以保護(hù)泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。這種措施對(duì)泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物，會(huì)造成對(duì)葉片的磨損和通道堵塞，也會(huì)影響轉(zhuǎn)子的不平衡。如果一些粒子進(jìn)入軸承，造成磨損，能降低泵的工作壽命。因此在某些應(yīng)用中，安裝保護(hù)措施是必要的。

一般說來，泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時(shí)，水的蒸氣壓已低于10-8帕。溫度為20K時(shí)，除氦、氖和氫外，其他氣體的蒸氣壓也低于10-8帕。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同，泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對(duì)于室溫下的容器，低溫板為20K時(shí)，泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。

有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運(yùn)行。在這個(gè)壓力范圍內(nèi)，離子泵不能應(yīng)用，對(duì)于低溫泵需要節(jié)流抽速或經(jīng)常再生，對(duì)擴(kuò)散泵的工作也會(huì)變得不穩(wěn)定。