任何真空泵都有不足之處,渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點(diǎn)。 (1) 設(shè)備費(fèi)用高 在抽速大于1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴(kuò)散泵和低溫泵的設(shè)備投資大。然而渦輪分子泵在由于工藝氣體或其它原因而不能使用擴(kuò)散泵和低溫泵的特殊場(chǎng)合下它是很好用的。若與小型或中型擴(kuò)散泵相比,小渦輪分子泵是相當(dāng)貴的。然而考慮到擴(kuò)散泵系統(tǒng)需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等,總的花費(fèi)來(lái)計(jì)算,二者的差別也就不大了,在某些情況下,渦輪分子泵還是便宜的選擇。
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1. 隔膜片泵
ThermoELECTRON CORPORATION
Pumptype:ARLMP1-V3
Diaphragm vacuum pump AMD 1
Voltage:100-120/200-230/50/60Hz
Current:1.7/0.65A
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