edwards iXH 系列干泵產(chǎn)品是 Edwards 的市場(chǎng)領(lǐng)先 iH 產(chǎn)品的換代升級(jí)，為嚴(yán)苛制程能力 樹(shù)立了新標(biāo)準(zhǔn)，它在世界上的許多 300mm 半導(dǎo)體和平板 工廠內(nèi)通過(guò)提高制程可靠性實(shí)現(xiàn)低擁有成本。

可滿足 FPD、太陽(yáng)能、 半導(dǎo)體和 LED 制造業(yè)中日益提高的氣體流量要求的 完美大容量干泵和增壓泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，這些泵還配備多種特性 以確保在嚴(yán)苛制程中具有最大可靠性。

edwards iXH 泵采用模塊化設(shè)計(jì)，符合 當(dāng)今的制程要求，并且對(duì)于前沿工廠中不斷涌現(xiàn)的應(yīng)用挑戰(zhàn) 有著路線明確的應(yīng)對(duì)計(jì)劃。

應(yīng)用

半導(dǎo)體的目標(biāo)應(yīng)用包括：

PECVD

高 K

低 K

SACVD

LPCVD

ALD

EPI

FPD 的目標(biāo)應(yīng)用包括：

PECVD

TCO

刻蝕

傳輸腔

主要特性和優(yōu)勢(shì)

針對(duì)先進(jìn)的 EPI 和太陽(yáng)能制程大幅提高了氫氣抽取速度。

大容量干泵和 增壓泵提供擴(kuò)展的制程窗口以提高產(chǎn)量。

占地面積更小，高度更低，便于在任何工廠中安裝。

符合主要的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，包括 UL、CE 和 S2?？梢允冀K如一地使用或省略不用