iH80 干式泵 460V，60 Hz，3 相，PN：A59000908

iH80 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相，PN：A59000945

iH80 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相，PN：A59000946

iH80 干式泵 230V，60 Hz，3 相，PN：A59000957

Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照最高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)最大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。

Edwards iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

應(yīng)用

負(fù)載鎖

輸送

計(jì)量

平版印刷

PVD 制程

PVD 預(yù)清潔

RTA

剝離/灰化

刻蝕

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

功能和優(yōu)勢(shì)

優(yōu)化了設(shè)施消耗。

無(wú)需預(yù)防性維護(hù)。

懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。

在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)最大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。

耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。

較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。

整體式軸桿無(wú)需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級(jí)泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。

峰值速度:   103 m3h-1

           61 cfm

           1717 l min-1

極限真空:   1 x 10-2 mbar

           7.5 x 10-3 Torr

            1 Pa

典型軸封氮流量: 4 slm

進(jìn)氣口連接: ISO63

出口連接:  NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量:     120 l h-1

                                2   l min-1

重量:  240 kg

極限功率輸入: 2.7 kW

電機(jī)額定功率: 3.5 kW

油容量:  0.7 l