有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。在這個壓力范圍內(nèi)，離子泵不能應(yīng)用，對于低溫泵需要節(jié)流抽速或經(jīng)常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩(wěn)定。

一般說來，泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時，水的蒸氣壓已低于10-8帕。溫度為20K時，除氦、氖和氫外，其他氣體的蒸氣壓也低于10-8帕。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同，泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對于室溫下的容器，低溫板為20K時，泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。

廣州帕納光電科技有限公司專業(yè)維修國際一線分子泵ALCATEL MDP5011