ZLDS113激光傳感器測量半導(dǎo)體平整度

半導(dǎo)體芯片是指在半導(dǎo)體片材上進(jìn)行浸蝕，布線，制成的能實(shí)現(xiàn)某種功能的半導(dǎo)體器件。半導(dǎo)體芯片不只是硅芯片，常見的還包括砷化鎵，鍺等半導(dǎo)體材料。半導(dǎo)體芯片的發(fā)明是二十世紀(jì)的一項(xiàng)創(chuàng)舉，它開創(chuàng)了信息時(shí)代的先河。現(xiàn)在“因特網(wǎng)”和“計(jì)算機(jī)”等已經(jīng)成為全世界眾所周知的詞語。而計(jì)算機(jī)芯片作為計(jì)算機(jī)的心臟更是為人所熟知，其實(shí)無論是“Intel”還是“AMD”芯片，它們在本質(zhì)上一樣，都屬于半導(dǎo)體芯片。

半導(dǎo)體芯片

那么作為一個(gè)應(yīng)用這么廣泛的產(chǎn)品，其質(zhì)量控制自然是重中之重，所以半導(dǎo)體芯片的精密測量，也就更加重要和更加廣闊的應(yīng)用，本文將著重對如何利用ZLDS113激光傳感器科學(xué)檢測半導(dǎo)體芯片的平整度作出分析。

應(yīng)用方案

如上圖所示，半導(dǎo)體芯片一般都是在生產(chǎn)線上流水線作業(yè)，所以將ZLDS113激光傳感器安裝在固定支架上，實(shí)時(shí)測量，不合格產(chǎn)品及時(shí)剔除。還可以安裝多臺ZLDS113激光傳感器，同步測量，多點(diǎn)掃描平整度。

ZLDS113激光傳感器主要特點(diǎn)：

◆分辨率最高可達(dá)1um，線性度最高3um；

◆測厚系統(tǒng)：2個(gè)傳感器成對安裝，能自動主從識別，構(gòu)成在線測厚儀，進(jìn)行在線厚度、寬度等實(shí)時(shí)測量,無需控制器；

◆實(shí)時(shí)可編程功能：數(shù)值計(jì)算、數(shù)字傳輸速度、模擬設(shè)置、濾波器等；

◆可測500℃~2200℃高溫物體，進(jìn)行厚度、寬度、長度、高度、直徑、輪廓的精密測量，是冶金行業(yè)必備的精密測量儀。

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