儀器簡(jiǎn)介：

在高功率X射線管和檢測(cè)器上配備有比例計(jì)數(shù)管和半導(dǎo)體檢測(cè)器?？蓪?duì)應(yīng)薄膜/合金膜以及極微小部件的測(cè)量需求，同時(shí)支持針對(duì)異物進(jìn)行定性分析和材料的成分分析。

技術(shù)參數(shù)：

可測(cè)量元素：原子序數(shù)22(Ti)～83(Bi) 

X射線源：小型空氣冷卻型高功率X射線管球(Mo靶) 
管電壓： 50kV 管電流： 1.5mA Be 窗

濾波器：一次濾波器：Mo 

照射方式：上方垂直照射方式

檢測(cè)器：比例計(jì)數(shù)管+半導(dǎo)體檢測(cè)(無(wú)需液氮) 

準(zhǔn)直器：圓形：Φ0.015mm Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm

安全性能：樣品室門自鎖功能、樣品防沖撞功能、自動(dòng)診斷功能

樣品圖像對(duì)焦方式：激光自動(dòng)對(duì)焦

樣品觀察：彩色CCD攝像頭 倍率光學(xué)器 鹵素?zé)粽彰?/span>

樣品平臺(tái)大小及承重：FT9400:240mm(W) ×170mm(D) 10kg 
                                               FT9450:420mm(W) ×330mm(D) 5kg 
                                               FT9455:700mm(W) ×600mm(D) 3kg

重量：FT9400/SFT9450:125kg (不含電腦) 
             FT9455:130kg(不含電腦) 

修正功能：底材修正、已知樣品修正、人工輸入修正

測(cè)量報(bào)告書(shū)制作：配備MS-EXCEL? MS-WORD?(使用宏支持自動(dòng)制作測(cè)量報(bào)告書(shū)) 
測(cè)量能譜與樣品圖像保存功能

主要特點(diǎn)：

1. 搭載有高功率X射線管及雙檢測(cè)器(半導(dǎo)體檢測(cè)器+比例計(jì)數(shù)管) 
可對(duì)應(yīng)組合復(fù)雜的應(yīng)用程序，特別是可識(shí)別Ni和Cu之類能量較為接近的元素。
能夠?qū)i/Cu和Au/Ni/Cu在不使用二次濾波器的情況下進(jìn)行測(cè)量
對(duì)于含Br的電路板，可以不受Br的干擾對(duì)Au的鍍層厚度進(jìn)行高精度的測(cè)量
可測(cè)量0.01μm以下的超薄的Au鍍層厚度
2. 搭載塊體FP發(fā)軟件和薄膜FP法軟件
對(duì)應(yīng)含鉛的合金鍍膜和多層鍍膜等，適用于廣泛的運(yùn)用領(lǐng)域
3. 適用超微小面積的測(cè)量
標(biāo)準(zhǔn)配備的15μmΦ的準(zhǔn)直器，可對(duì)超微小面積進(jìn)行測(cè)量。
4. 搭載了可3段切換的變焦距光學(xué)系統(tǒng)
5. 搭載高精度樣品平臺(tái)，更可測(cè)量大型線路板(SFT9455) 
6. 自動(dòng)對(duì)焦功能
配備激光自動(dòng)對(duì)焦功能，能夠準(zhǔn)確對(duì)焦，提高測(cè)量效率。
7. 搭載測(cè)試報(bào)告自動(dòng)生成軟件