紫外線消色差透鏡
紫外線消色差透鏡是空氣隙消色差雙合透鏡。它由一片可用于準(zhǔn)分子激光的人造熔融石英玻璃和一片氟化鈣(CaF2)透鏡組成。這兩種材料在紫外波長(zhǎng)都具有很好的透過(guò)率,而且分散特性不同,對(duì)色差和球差都進(jìn)行了校正。F數(shù)≥5的透鏡,對(duì)于理想的高斯光束,設(shè)計(jì)時(shí),其焦點(diǎn)光斑直徑和衍射極限尺寸相同。
準(zhǔn)分子激光聚光透鏡
(248 nm)或其它紫外線光源(193—400 nm)的空氣隙三合或雙合透鏡。它由準(zhǔn)分子激光用人造熔融石英玻璃制成。在248 nm波長(zhǎng),對(duì)球差和彗差進(jìn)行了優(yōu)化;在193—400 nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)對(duì)其進(jìn)行了校正。