換氣次數(shù)：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa平均風速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季>16℃；夏季 <26℃；波動±2℃。濕度45－65%；GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜；電子車間濕度略高以免產生靜電。噪聲≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的10%－30%；照度300LX
亦稱為無塵室或清凈室。是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪 音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕 度及壓力等性能之特性。潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造，此空間 我們稱之為潔凈室。
工作原理：采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場中的陰極線在高壓靜電的作用下，電暈層中產生大量的負離子，負離子在靜電場的作用下，不斷地向陽極運動。當空氣中粉塵通過電場時，粉塵受到負離子的碰撞帶上電荷，帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場的作用，向陽極（集塵極）運動，到達陽極后釋放電荷。 　缺點：可去除飄塵（不能去除毒害氣體），效能比機械式低、慢，而且易產生臭氧，此機型被美國市場評為最差凈化器。