特長

● 潔凈的真空
● 腔體內(nèi)沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能
● 能在高吸入壓強(qiáng)下運(yùn)作

用途

◆ 照明、電子、光學(xué)、半導(dǎo)體
◆ 鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入
◆ 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
◆ 真空熱處理爐、燒結(jié)爐、釬焊爐
◆ 分析儀器、檢漏設(shè)備、CO2激光設(shè)備

*1 用皮拉尼真空計(jì)測量的值，如用麥?zhǔn)险婵沼?jì)測量，則為4.0×10-2Pa，而NB1200B則為6.7×10-2Pa。

*2 隨粗抽泵的性能而變化，表中數(shù)據(jù)是與標(biāo)準(zhǔn)粗抽泵組合使用時(shí)的數(shù)據(jù)。

*3 對于530Pa以下可用空冷，但530Pa以上進(jìn)行連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)必須用水冷。

*4 冷卻水入口溫度必須為5～30℃。如冷卻水溫過低，則泵應(yīng)在不易結(jié)露的環(huán)境中使用。