特長

● 低溫領(lǐng)域下的均熱化。
● 低噪音、低振動

● 優(yōu)良的耐腐蝕性
● 多種自主功能選購件

用途

◆ 活性氣體
◆ 非活性氣體
◆ 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣
◆ 作為前級泵使用
◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣

*1 極限壓力是氮?dú)猓芊鈿怏w）在5.0 SLM時(shí)的值。

*2 無結(jié)露。

*3 用調(diào)節(jié)閥所調(diào)整的壓力表的值。

*4 氮?dú)猓芊鈿怏w）流量5.0 SLM是固定值。