人身凈化路線 　　為了在操作中盡量減少人活動產(chǎn)生的污染，人員在進(jìn)入潔凈區(qū)之前，必須更換潔凈服并吹淋、洗澡、消毒。這些措施即“人身凈化”簡稱“人凈”。人凈用房中更換潔凈服的房間應(yīng)予送風(fēng)，并對入口側(cè)等其他房間保持正壓，對廁所、淋浴保持少許正壓，而廁所、淋浴應(yīng)保持負(fù)壓。 　　三、物料凈化路線 　　各種物件在送入潔凈區(qū)前必須經(jīng)過凈化處理，簡稱“物凈”。 物料凈化路線與人凈路線應(yīng)分開，如果物料與人員只能在同一處進(jìn)入無塵車間，也必須分門而入，物料并先經(jīng)過粗凈化處理。
凈化車間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板。
亦稱為無塵室或清凈室。是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪 音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕 度及壓力等性能之特性。潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間 我們稱之為潔凈室。