高精度納米位移傳感器位移傳感器電容傳感器電容位移傳感器
英國真尚有ZNXsensor高精度納米位移傳感器是通過改變電容兩極板間的電荷實現(xiàn)測量的。常用的方法有三種：變極板間距離的變極距型；改變極板面積的變面積型；還有就是改變介質(zhì)介電常數(shù)的變介質(zhì)型。現(xiàn)在所介紹的是變極距型的高精度納米位移傳感器。
ZNXsensor高精度納米位移傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：
壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測量等。
該高精度納米位移傳感器是一種非接觸式的電容位移傳感器；兩個傳感器板形成一個平行板電容器，每個傳感器可用在兩個不用的測量范圍；納米分辨率；零磁滯。
ZNXsensor高精度納米位移傳感器主要特點：
量程20～1250μm；
分辨率<0.1nm；零磁滯；
線性最高0.02%；
頻帶可調(diào)：50～5000Hz；靈敏度可調(diào)；
真空兼容選項；
詳情請訪問：
http://www.51sensors.com/prod_detail_792.html
英國真尚有集團(tuán)
深圳市真尚有科技有限公司
電話：0755 - 26528100 / 26528011/26528012
傳真：0755-26528210/26435640
技術(shù)規(guī)格：
ZNXA | ZNXB | ZNXC | ZNXD | |
小量程μm | - | 20 | 100 | 250 |
靈敏度μm/V | - | 2 | 10 | 25 |
噪音nm rms Hz-1/2 | - | <0.001 | <0.005 | <0.013 |
溫漂nm/K | - | 1 | 4.4 | 11 |
線性度% | - | <0.08 | <0.03 | <0.06 |
大量程μm | 50 | 100 | 500 | 1250 |
靈敏度μm/V | 5 | 10 | 50 | 125 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.08 | <0.015 | <0.075 | <0.188 |
溫漂nm/K | 2.2 | 4.4 | 22 | 55 |
線性度% | <0.08 | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
頻響Hz | 50/500/5000 | |||
控制器型號 | NS2000 | NM2110 | S2000和NS模塊 | NM3330 |
傳感器通道最大個數(shù) | 1 | 1 | 14 | 3 |
供電 | ±15V，70mA | 90～130V或220～260V | 90～110V或110～130V或220～260V | 90～260V |
模擬輸出V | ±5 | ±5 | ±5 | |
數(shù)字輸出 | 16位(可選) | 7位浮點數(shù) | ||
頻響KHz | 5 | 5 | 5 | 12.5 |
◆我們保留規(guī)格變化而不另行通知的權(quán)利。
