電容式位移傳感器ZNXsensor測(cè)量顯微鏡移動(dòng)平臺(tái)的微量位移
無論是生物工程中的細(xì)胞操作、集成電路或光電子器件的加工,還是采用電子顯微鏡進(jìn)行納米操作,盡管其精度要求各不相同,但在硬件裝備中均有一項(xiàng)共性的關(guān)鍵技術(shù),那就是要解決載物臺(tái)或其相應(yīng)設(shè)備的高精度的自動(dòng)測(cè)量和精確定位。要實(shí)現(xiàn)這項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù),高精度控制系統(tǒng)是非常重要的。搭建了一種閉環(huán)控制系統(tǒng),用于控制某特性顯微鏡工作臺(tái)。傳感器的使用是閉環(huán)控制中必不可少的一環(huán)，電容式位移傳感器的精度決定著系統(tǒng)的精度。
顯微鏡移動(dòng)臺(tái)在移動(dòng)停止后會(huì)有一定的反彈，平臺(tái)移動(dòng)總的的位移量有幾毫米，但反彈量很微小，但反彈量決定了平臺(tái)的移動(dòng)精度?？梢允褂秒姕u流傳感器測(cè)量平臺(tái)的較大范圍的移動(dòng)，使用ZNXsensor電容式位移傳感器測(cè)量反彈的微小位移。
ZNXsensor電容式位移傳感器是一種非接觸式的電容式位移傳感器；兩個(gè)傳感器板形成一個(gè)平行板電容器，每個(gè)傳感器可用在兩個(gè)不同的測(cè)量范圍；納米分辨率；零磁滯。
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