一. 概述
復(fù)合真空儀，是新型的真空測(cè)量?jī)x，它針對(duì)國(guó)內(nèi)熱電偶真空測(cè)量的實(shí)際情況，將國(guó)產(chǎn)熱偶傳感器和美國(guó)Hastings公司的熱堆傳感器的儀表組合成一個(gè)儀表，通過(guò)面板按鍵切換傳感器測(cè)量的種類，測(cè)量數(shù)據(jù)則采用計(jì)算機(jī)技術(shù)進(jìn)行優(yōu)化處理，提升了產(chǎn)品功能性、實(shí)用性和方便性，可應(yīng)用于航天、機(jī)械、石油、化工、冶金、電子及醫(yī)療、低溫液體貯運(yùn)設(shè)備等領(lǐng)域的各類真空測(cè)量。產(chǎn)品符合JB/T6873-2005。
二. 工作原理
1．ZJ-51熱偶規(guī)管
根據(jù)低壓強(qiáng)下氣體分子熱傳導(dǎo)特性，當(dāng)熱偶規(guī)管熱絲的加熱電流恒定時(shí)，熱絲的溫度將隨管內(nèi)的壓強(qiáng)而變化，當(dāng)壓強(qiáng)降低時(shí)，氣體分子的熱傳導(dǎo)運(yùn)動(dòng)減弱，熱絲的溫度升高；反之，熱絲的溫度減小，熱偶規(guī)管輸出的熱電勢(shì)反映了熱絲溫度的變化，只要測(cè)量規(guī)管的熱電勢(shì)值，與之對(duì)應(yīng)的系統(tǒng)壓強(qiáng)就確定了。規(guī)管輸出的熱電勢(shì)經(jīng)計(jì)算機(jī)非線性處理后送液晶顯示。
2. DV-6R熱堆傳感器
美國(guó)Hastings公司DV-6系列真空測(cè)量傳感器是用貴金屬材料制作的熱電偶真空傳感器（附圖）。用低電壓的交流電橋?qū)ζ錈犭娕糀和B進(jìn)行加熱，當(dāng)真空系統(tǒng)中壓力的變化引起氣體分子碰撞的變化時(shí)，熱電偶周圍的氣體或氣體混合物的之間熱傳導(dǎo)隨之變化，這使得熱電偶A和B的溫度變化，而溫度的變化將引起熱電偶A和B之間的直流輸出變化（和壓力變化方向相反），熱電偶C用以對(duì)環(huán)境溫度的瞬時(shí)變化進(jìn)行補(bǔ)償。熱偶變化的熱電勢(shì)反映了熱絲溫度的變化，測(cè)量熱電勢(shì)值，與之對(duì)應(yīng)的系統(tǒng)壓強(qiáng)就確定了，傳感器輸出的熱電勢(shì)經(jīng)計(jì)算機(jī)非線性處理后送液晶顯示。
三 傳感器技術(shù)指標(biāo)
1 ZJ-51型的主要技術(shù)指標(biāo)
1.1 量 程：66.5Pa～ 0.1 Pa 1.2 真空度誤差：± 15 %
1.3 加熱電流 ：90～130 mA
2 DV-6R型的主要技術(shù)指標(biāo)
2.1 量 程：1Torr～0.001 Torr
2.2 真空度誤差：±(讀數(shù)的15 %+0.001 Torr)（最大）
2.3 連 接尺 寸：1/8＂npt公螺紋 2.4 操作溫度：－20 ～ +60℃
四 儀器的技術(shù)指標(biāo)
1 ZJ-51型
1.1 測(cè) 量 范 圍：500Pa～0.1Pa（0～ 100格）
1.2 有效誤差范圍：68Pa～0.1Pa 1.3 壓力極限誤差：±20 %
1.4 加熱電流范圍：80mA～130mA 1.5 加熱電流誤差：±0.5%
2 DV-6R型
2.1 測(cè) 量 范 圍：450Pa～0.1Pa 2.2 有效誤差范圍：133Pa～0.1Pa
2.2 壓力極限誤差：±20%
3 其它技術(shù)指標(biāo)
3.1 工作電源：DC8V；充電AC220/50Hz 3.2 顯示位數(shù)：四位數(shù)碼LCD
3.3 重 量：0.3Kg 3.4 功 率： 3 VA
3.5 外型尺寸：185×95×38 mm3
