啟天科技擴散石英舟上下料機,

技術參數(shù)：

型號規(guī)格：QT-100H-SYZD

外形尺寸：3000（L)*1540(W)*2250(H)(mm)

電源：220V 1kW 50Hz

裝片效率：上下一體4500片/小時（完成上下相當于9000片單上/單下)

碎片率：≤0.4/1000(缺陷）

工位數(shù)：兩工位

設備兼容：156*156（±0.5mm)(6英寸）硅片，適用籃具為100層石英舟載具。50片塑料花籃

潔凈壓縮空氣：5-7kg/cm2

功率：≤3500W

重量：約800kg

擴散石英舟上下料機型號:QT-100H-SYZD

概述：

●應用領域：QT-100H-SYZD應用于將擴散后石英舟內的背靠背硅片導出并兩兩分開，然后分別入塑料硅片承載盒中，同時將未擴散的硅片從塑料硅片承載盒中取出，然后背靠背疊加放入石英舟內，每一槽放兩片，待擴散面朝外。

●設備特點：

上下料一體化設計節(jié)約了工人搬運石英舟及塑料硅片承載盒的勞動強度，籃具在上下料的過程中緊湊相連，循環(huán)利用，提高整機的工作效率。

所有入籃以及入石英舟結構均采用耐磨耐高溫自潤滑結構穩(wěn)定之材料導向，高精密叉子托附，依靠硅片自身重力入籃或者入舟，大大降低了碎片率以及對載具的高精度要求。

機器相關重要環(huán)節(jié)引入視覺定位系統(tǒng)，一旦運轉偏離位置，機器自動補償矯正，既提高了穩(wěn)定性，又提升了速度。

所有真空吸盤及硅片矯正叉均采用一次加工成型結構，減少組裝帶來的累計誤差，由于高精度的結構相對提高運行速度而不帶來碎片率的提升。