上海真空管式爐的詳細資料：  

上海真空管式爐，多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成，可根據(jù)用戶需要設(shè)計生產(chǎn)（有雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)），可預(yù)抽真空（有高真空、低真空），通多種氣氛（供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量器和浮子流量控制器）。性能可靠?？刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù)，具有控溫精度高，溫沖幅度小，性能可靠，簡單易操作等特點。CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。  

上海真空管式爐參數(shù)：  

爐管尺寸外徑Φ60×1000mm,Φ80×1000mm,Φ100×1000mm  

極限溫度1700℃工作溫度800-1600℃  

溫度控制器PID自動控制晶閘管（可控硅）輸出功率，50段可編程控制器  

最快升降溫速率1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min  

加熱區(qū)360mm  

恒溫區(qū)150mm  

溫度精度±1℃  

電源單相220V,交流50Hz

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