真空管式爐廠家的詳細(xì)資料：  

真空管式爐廠家，多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成，可根據(jù)用戶需要設(shè)計(jì)生產(chǎn)（有雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)），可預(yù)抽真空（有高真空、低真空），通多種氣氛（供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量器和浮子流量控制器）。性能可靠?？刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù)，具有控溫精度高，溫沖幅度小，性能可靠，簡單易操作等特點(diǎn)。CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

真空管式爐廠家參數(shù)：  

高真空管式爐  

爐管尺寸外徑Φ60×1000mm,Φ80×1000mm,Φ100×1000mm  

極限溫度1700℃  

工作溫度800-1600℃  

溫度控制器PID自動(dòng)控制晶閘管（可控硅）輸出功率，50段可編程控制器  

最快升降溫速率1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min  

加熱區(qū)360mm  

恒溫區(qū)150mm  

溫度精度±1℃  

電源單相220V,交流50Hz  

多通道流量計(jì)控制系統(tǒng)  

標(biāo)準(zhǔn)量程100，200，500，1000SCCM；（以氮?dú)鈽?biāo)定，除以上標(biāo)準(zhǔn)外量程可選）  

準(zhǔn)確度±1.5%  

工作壓差范圍0.01～0.05MPa  

最大壓力0.02MPa  

接頭類型Φ6雙卡套不銹鋼接頭  

高真空系統(tǒng)  

泵體積流量N233L/S  

壓縮比10:11  

實(shí)驗(yàn)真空值6.7*10-3Pa  

功率消耗140W  

啟動(dòng)時(shí)間2min  

電源要求：185-265VAC  

更多：真空管式爐廠家  http://www.haoyueyq.cn/haoyueyq-SonList-1345791/

http://www.chem17.com/st142087/erlist_1345791.html