封閉式光柵尺
* 能有效防塵、防切屑和防飛濺的切削液
* 是用于機床的理想選擇
* 鋁質外殼和密封軟條可以保護光柵尺、掃描單元和軌道免受灰塵、切屑和切削液的影響
* 掃描單元的運動軌道摩擦力很小
* 軌道內置在光柵尺上
* 它通過一個連軸器與外部的安裝架連接
* 這個連軸器可以補償光柵尺和機器軌道之間不可避免的對正誤差
* 封閉式光柵尺的結構有標準光柵尺外殼適用于振動頻率高且最大測量長度為
* 還有緊湊光柵尺外殼適用于安裝空間小
* 準確度等級± 2 μm ;測量步距 0.1μm ;測量長度達 30 m ;高加減速度
敞開式光柵尺與讀數(shù)頭和光柵尺或鋼帶間沒有機械接觸。是專門為機械和那些特別需要高精度測量值的裝置設計的;
典型應用包括:
* 半導體行業(yè)的測量和生產(chǎn)設備
* 印刷電路版裝配機械
* 超精密機械
* 高精度機床
* 計量機和比較儀、測量顯微鏡和其它精密測量裝置
* 直接驅動
* 準確度等級 ± 0.5 μm 和更高 ;測量步距 0.001 μm (1nm) ;測量長度 30 m
增量式光柵尺決定當前位置的方式是由原點開始數(shù)測量步距或細分電路的計數(shù)信號數(shù)量。海德漢的增量式光柵尺帶有參考點,開機時必須執(zhí)行參考點回零操作非常簡單、快捷。
絕對式光柵尺無需執(zhí)行參考點回零操作就能直接提供當前位置值。光柵尺的絕對位置值通過EnDat接口或其它串行接口傳輸。