環(huán)保耐腐蝕化工泵生產(chǎn)廠家 杰凱泵業(yè)廠家供應
在集成電路制造和其他微小型零件的制作中,常常將微細加工技術進一步分解為橫向 微細加工技術和縱向微細加工技術兩種方式。橫向微細加工是按照器件的設計要求,在材料的表面制作各種所需要的圖形,縱向微細加工則是根據(jù)器件的要求,在材料的縱深方向 制作各種薄膜結構。一般情況下,這種微細加工的尺度在微米或者亞微米級。
以集成電路的制造為核心的微電子工業(yè)的發(fā)展在很大程度上取決于微細加工技術的發(fā) 展。當加工精度以微米、納米,甚至以原子單位(0.1-0.2nm)為目標時,常規(guī)加工方法 已無能為力,需要借助特種加工的方法,如離子濺射和離子注人、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等,極細微地控制表面層物質去除或添加的量,達到微細加工 的目的。
當前,不斷發(fā)展的微細加工技術正在向納米制造技術(nano Technology)延伸,后者涵蓋了近年來由微電子與微機械集成的微機電系統(tǒng)、由微電子與生物工程結合而發(fā)展起來的生物芯片技術等,被公認為將影響21世紀科技發(fā)展的三大技術領域之一。人們預期,這些技術將實現(xiàn)人類在認識自然和改造自然方面的能力的又一次飛躍,對信息、材料、生物醫(yī)療、航空航天等領域產(chǎn)生重大影響。
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