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真空直線平臺：

真空步進電機絲桿平臺,真空電機直線滑臺,真空直線平臺,真空滾珠絲杠平臺

雙軸真空絲杠平臺，三軸真空絲桿直線平臺

AML的超高真空直線絲桿平臺提供長行程，具有最小高度可以負荷達10kg，他們有廣泛間隔的“五輥”滾筒導(dǎo)軌在簡單的復(fù)合機制中是有用的扭轉(zhuǎn)載荷小。他們是制造使用耐真空的特殊材料，動力使用AML的耐高真空步進電機步進電機。直線運動由金剛石研磨的并校正的絲桿和螺母配合，精密研磨以保證良好的精度并將預(yù)緊絲杠位置穩(wěn)定性消除齒隙。

真空平臺指標

行程25-250mm , 每步的分辨率可以達到1u，零間隙，高剛性結(jié)構(gòu)，負載可以達到50kg?？梢灾苯哟钶dXYZ運動平臺。真空度范圍是：10^10mbar以內(nèi)。使用交叉滾珠導(dǎo)軌運動，使運動精度更高。

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