分子束外延是一種超高真空條件下的物理氣相淀積方法。其工作原理是在超高真空系統(tǒng)中,使分子或原子束連續(xù)不斷地撞擊到被加熱的襯底表面上而獲得均勻外延層。在分子束外延過程中,各種成分的束強度可以分別控制。分子束外延的特點是生長速率相當?shù)?,典型的?.1~0.2μm/h,因而能精細控制生長層的厚度,可以生長極薄的外延層。
PVD公司是美國主要制造商,是一家專業(yè)從事脈沖激光沉積分子束外延(PLD MBE)和超高真空薄膜沉積系統(tǒng)及組件的設計和制造的公司,提供超高真空薄膜沉積系統(tǒng),應用于分子束外延、UHV濺射和脈沖激光沉積。產(chǎn)品主要集中在小型研究開發(fā)系統(tǒng),其應用主要包括:
用分子束外延進行半導體材料、ZnO、GaN、SiGe和金屬/氧化物外延生長;
UHV磁控濺射磁性薄膜;
脈沖激光沉積超導薄膜、氧化物和陶瓷材料。
儀器主要配置:
超高真空物理氣相沉積(PVD)系統(tǒng); 熱蒸發(fā)系統(tǒng)。
GaAs、InP和GaSb外延;
HgCdTe外延;
GaN、InN和AlN外延;
Ⅱ-Ⅵ族外延;
SiGe外延;
Si/金屬/氧化物外延;
磁控濺射系統(tǒng);
脈沖激光沉積(PLD)系統(tǒng);
電子束蒸發(fā)系統(tǒng);
離子束沉積系統(tǒng);
美國PVD公司已經(jīng)在全球范圍內(nèi)安裝了超過100套的超高真空系統(tǒng)。絕大部分的產(chǎn)品都是針對用戶定制設計復雜的沉積系統(tǒng)。在標準系統(tǒng)制造業(yè)中有著深厚的為用戶定制設計的背景,在用戶中具有很好的聲譽。許多的標準系統(tǒng)最初都是起源于針對某些客戶對沉積過程特殊需求的解決方案,與廣大的中國用戶開展更為廣泛的交流與合作,為廣大的中國用戶提供國際頂尖PLD MBE和超高真空薄膜沉積系統(tǒng)制造商的產(chǎn)品和服務。
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聯(lián)系人:康先生
手機:13686827543
座機:0755-26510991
官網(wǎng):www.pvdproducts.cn