9.碳化物靶材：碳化硅靶材SiC、碳化硼靶材BC、碳化鐵靶材FeC、碳化鈦靶材TiC、碳化鉭靶材TaC、碳化鉻靶材CrC、碳化鉿靶材HfC、碳化鋯靶材ZrC、碳化鎢靶材WC、碳化鈮靶材NbC、碳化釩靶材VC、碳化鈷靶材CoC.

10.硼化物靶材：硼化鑭靶材LaB6、硼化鈰靶材CeB6、硼化鋱靶材TbB6、硼化銪靶材EuB6、硼化釤靶材SmB6、硼化鉿靶材HfB、硼化鈦靶材TiB、硼化鉻靶材CrB、硼化釩靶材VB、硼化鋯靶材ZrB、硼化鐵靶材FeB、硼化鉭靶材TaB、硼化鈮靶材NbB、硼化鎳靶材NiB、硼化鉬靶材MoB、硼化硅靶材SiB、硼化鋁靶材AlB、硼化鎂靶材MgB、硼化鋇靶材BaB、硼化鎢靶材WB、硼化鈷靶材CoB、硼化鈣靶材CaB、硼化鎳靶材NiB.

11.氟化物靶材：氟化釓靶材GdF、氟化釔靶材YF、氟化鑭靶材LaF、氟化鐿靶材YbF、氟化鉺靶材ErF、氟化鈥靶材HoF、氟化鈰靶材CeF、氟化鋱靶材TbF、氟化銪靶材EuF、氟化鐠靶材PrF、氟化釤SmF、氟化擼靶材LuF、氟化鏑靶材DyF、氟化釹靶材NdF、氟化鈧靶材ScF、氟化鎂靶材MgF、氟化鋇靶材BaF、氟化納靶材NaF、氟化鋁靶材AlF、氟化鈦靶材TiF.

12.硅化物靶材：硅化鋁靶材AlSi、硅化鉻靶材CrSi、硅化鎳靶材NiSi、硅化鎢靶材WSi、硅化鉿靶材HfSi、硅化鋯靶材ZrSi、硅化鈮靶材NbSi、硅化釩靶材VSi、硅化錳靶材MnSi、硅化鉬靶材MoSi、硅化鎂靶材MgSi、硅化鈦靶材TiSi、硅化鐵靶材FeSi、硅化鈣靶材CaSi.