(1) 本設(shè)備用于2″—8″硅片的規(guī)模生產(chǎn)清洗。
(2) 整機(jī)采用德國(guó)進(jìn)口磁白色PP板焊接而成，本機(jī)每槽可同時(shí)清洗2個(gè)花籃。                             (3) 本設(shè)備由機(jī)架部分、整機(jī)部分、槽體部分、伺服系統(tǒng)、及機(jī)械傳動(dòng)部分、電氣控制系統(tǒng)構(gòu)成。   

⑷ 工藝過(guò)程全自動(dòng)，機(jī)械手在槽間轉(zhuǎn)換靠PLC來(lái)控制，美國(guó)進(jìn)口導(dǎo)軌和機(jī)械手來(lái)滿足工藝時(shí)序。

(5) 除裝片和取片需人工外，其余工藝動(dòng)作均由機(jī)械手來(lái)實(shí)現(xiàn)，適用于連續(xù)批量生產(chǎn)。

(6) 機(jī)臺(tái)內(nèi)設(shè)高效過(guò)濾器，滿足凈化工作區(qū)工作（1000級(jí)~100級(jí)，10級(jí)為特級(jí)）。

(7) 電控部分：人機(jī)界面為觸摸屏，有安全保護(hù)故障代碼，故障報(bào)警，工藝時(shí)序號(hào)，方便操作、易于維護(hù)。