1.       主要指標： 
1.全自動形式。 
2.外形尺寸3100×1400×2500（長×寬×高） 
3.適用硅片：4寸（可根據(jù)客戶要求待定）
4.裝片能力：50片/批（2花籃，25片/花籃） 
5.工作區(qū)潔凈度：100級
6.槽間工藝轉(zhuǎn)換時間：Tmax≤3.5s 

2.       1.設(shè)備由五大部分組成：清洗槽部分、伺服系統(tǒng)及機械臂部分、層流凈化系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、機架及整機。 
2 .清洗槽部分由有機溶劑槽、去離子水槽、酸槽或堿槽等組成。 
3. 關(guān)鍵件采用進口件，包括氣動閥，PFA管道、全氟循環(huán)系統(tǒng)，保證工作介質(zhì)（酸、堿）的潔凈度，避免雜質(zhì)析出。 
4. 工藝過程全自動，機械手在槽間的轉(zhuǎn)換由兩套伺服系統(tǒng)控制，可存儲多條工藝時序，方便使用。 
5. 除裝片和取片需人工外，其余工藝動作均可自動完成，適用連續(xù)批量生產(chǎn)。
6. 人機界面為觸摸屏，方便直觀； 界面中有故障報警，安全保護，工藝時序號等功能。 
7.工作區(qū)設(shè)凈化裝置，內(nèi)置高效過濾器，滿足工作區(qū)凈化要求（1000—100級，10級為特制）。