設(shè)備概述:

硅片甩干機(jī)是由該系列機(jī)型具有高潔凈度旋轉(zhuǎn)沖洗甩干功能。主要用于硅圓片、掩模版、太陽(yáng)能電池等類(lèi)似材料的沖洗甩干。

1·甩干機(jī)機(jī)型
   雙工作腔結(jié)構(gòu)，最大加工片子直徑φ150mm。S為雙片盒結(jié)構(gòu).

2·系統(tǒng)構(gòu)成

整機(jī)采用雙工位（或單工位）層疊、積本式組合結(jié)構(gòu)，每個(gè)工位可獨(dú)立運(yùn)行互不干擾。能實(shí)現(xiàn)包括旋轉(zhuǎn)沖洗、氮?dú)夂娓?、電阻率監(jiān)控、防靜電控制、腔體干燥、故障顯示報(bào)警、系統(tǒng)潔凈化處理在內(nèi)的全自動(dòng)工藝處理過(guò)程。

3·結(jié)構(gòu)原理與特點(diǎn)

（1）潔凈化處理技術(shù)     ⑵ 大功率無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)

⑶ 清洗工作腔體       ⑷ 轉(zhuǎn)軸氮?dú)饷芊饧夹g(shù)

⑸ 去離子水控制        ⑹ 防靜電控制

⑺ 防震、隔震技術(shù)      ⑻ 測(cè)速、計(jì)數(shù)控制技術(shù)

⑼ 制動(dòng)控制技術(shù)       ⑽ 系統(tǒng)控制技術(shù)

⑾ 工藝處理軟件        ⑿ 顆粒控制性能

⒀ 安全及防護(hù)處理      ⒁ 門(mén)位置狀態(tài)監(jiān)控與互鎖

⒂ 生產(chǎn)技術(shù)