江西佰地信環(huán)境工程有限公司

光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。

光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室，目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來(lái)，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展，對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目，而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。

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電子無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)規(guī)范依據(jù)：

1、國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)《ISO/DIS 14644》

2、潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范《GB50073-2001》

3、工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范《GMP-97》

4、生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范《GMP-98》

5、潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范《JGJ 71-90》

6、通風(fēng)與空調(diào)工程施工及驗(yàn)收規(guī)范《GB 50243-2002》

7、美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)《FS209E-92》

電子無(wú)塵車(chē)間凈化參數(shù)：

換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000級(jí)≥30次；

壓差：主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa；

平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s；

溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動(dòng)±2℃；

濕度45－65％；GMP粉劑車(chē)間濕度在50％左右為宜；電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電；

噪聲≤65dB（A）；

新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。

電子無(wú)塵車(chē)間結(jié)構(gòu)材料：

1、凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)；圓弧墻、角、門(mén)、窗框等一般采用專(zhuān)用氧化鋁型材制造。

2、地面采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3、送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4、高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。