3660KOFLOC標準質(zhì)量流量控制器合肥永準
質(zhì)量流量計/控制器
標準 質(zhì)量流量控制器
型號3660系列 型號3660系列質(zhì)量流量控制器設計精密，成本較低。廣泛用于不同的領域，從實驗室和研究開發(fā)項目到各種分析儀器、真空裝置的標準采用機種，發(fā)揮了很好的實際效果。各種衍生的型號和附屬品可選。
□通過采用改良型恒定電流溫度差檢測方式流量傳感器，實現(xiàn)快速回應。
□通用的常閉型閥門確保了安全
□使用電磁執(zhí)行器保證了高效的可靠性
□低差壓類型控制適用于燃燒的氣體（LP可選）
| 10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM) |
| 常閉電磁閥 |
| 2%-100%F.S.（5%-100%F.S.） |
| 設定±2%F.S.至2秒以內(nèi)（標準） |
| ±1.5%F.S.以內(nèi)（±2%F.S.以內(nèi)） |
| ±0.5%F.S.以內(nèi) |
| 980kPa |
| F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa； 5<F.S.≤20SLM 95kPa-294kPa |
| 5°C-45°C |
| SUS316、氟橡膠、 氯丁橡膠（選購件） |
| Dsub9個引腳公玡 KFC/SEMI 標準 |
| 0-5VDC |
| 0-5VDC |
| +15VDC(±5%)100mA-15VDC(±5%)200mA |
