目標(biāo)

   1 通過(guò)化學(xué)氣相沉淀方法將統(tǒng)一的膠片應(yīng)用在硅晶片上。

   2 使化學(xué)物質(zhì)沉淀在晶片上。

KAMAN傳感器解決方案

在沉淀開始前，Kaman傳感器確保金屬盤與噴灑器保持平行的位置關(guān)系，噴灑器用來(lái)均勻噴射氣體(如圖所示)。傳感器則用來(lái)做校準(zhǔn)裝置，這樣校準(zhǔn)可以定位金屬盤在一個(gè)最合適的位置。Kaman系統(tǒng)提供了模擬和數(shù)字兩種輸出信號(hào)，以防止信號(hào)值超出可承受范圍。如果金屬盤傾斜，制動(dòng)裝置將校正其位置。

KAMAN傳感器特點(diǎn)

    1類型：SMT-9700

    2 直接測(cè)試：一個(gè)環(huán)直接連接到彈簧浮板傳感器可以直接測(cè)試氣體噴射器的位置。

    3 無(wú)需接觸：應(yīng)用渦電流的技術(shù)，每一個(gè)傳感器均可以無(wú)接觸地測(cè)量到目標(biāo)體的位置。

    4  應(yīng)用廣泛。

KAMAN傳感器SMT是一款專門為客戶定制的OEM產(chǎn)品，可測(cè)非導(dǎo)磁體和鐵磁材料，有1、2或3通道可配電渦流探頭。擁有埃米級(jí)分辨率，符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)，尺寸小巧，并可配13種電渦流探頭。同時(shí)材料、線性、分辨率、帶寬各種性能可自行優(yōu)化。

KAMAN傳感器應(yīng)用領(lǐng)域

光學(xué)平臺(tái)位置測(cè)量、半導(dǎo)體和光器件的研磨、半導(dǎo)體模板對(duì)齊系統(tǒng)、蒸鍍系統(tǒng)、電子顯微鏡垂直軸定位，原子顯微鏡垂直軸定位、磁懸浮軸控制、部件研磨加工的精確定位、鏡片控制、物質(zhì)收縮測(cè)試測(cè)量、機(jī)械結(jié)構(gòu)變形探測(cè)與測(cè)試。

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