“XP-63X納米級(jí)精密壓電定位臺(tái)系列”詳細(xì)介紹
XP-63X納米級(jí)精密定位平移臺(tái)機(jī)構(gòu)采用放大式結(jié)構(gòu)，內(nèi)部使用高精度壓電陶瓷做驅(qū)動(dòng)，精確定位并通過柔性鉸鏈連接支撐傳動(dòng)，實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)面做一維微納米的微小移動(dòng)，該系列微動(dòng)臺(tái)可以組合成二維、三維的微動(dòng)臺(tái)產(chǎn)品，也可以與不同型號(hào)與系列的微動(dòng)臺(tái)組合成二維、三維、四維、五維等微動(dòng)臺(tái)產(chǎn)品。我公司生產(chǎn)從幾微米到幾百微米行程的納米定位平臺(tái)。
主要應(yīng)用
?。獧C(jī)械制造、超精密加工
?。锕こ?
＊醫(yī)療科學(xué)
?。饫w對(duì)接
?。鈱W(xué)微處理系統(tǒng)
＊航空航天領(lǐng)域
?。獟呙杼结橈@微鏡
＊MEMS制造、機(jī)械零件裝配
XP-63X技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | XP-630.1SL | XP-631.1SL | XP-633.1SL | XP-630.1OL | 單位 |
運(yùn)動(dòng)自由度 | X | X | X | X | |
傳感器類型 | SGS | SGS | SGS | - | |
標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 12 | 24 | 48 | 同S | μm±20% |
最大行程范圍(-20~150V) | 17 | 34 | 68 | 同S | μm±20% |
分辨率 | 0.5 | 1 | 2 | 0.1/0.2/0.3 | nm |
閉環(huán)線性度 | 0.1 | 0.15 | 0.15 | - | %F.S. |
重復(fù)定位精度 | 0.05 | 0.05 | 0.1 | - | %F.S. |
運(yùn)動(dòng)方向的剛度 | 40 | 20 | 10 | 同S | N/μm±20% |
運(yùn)動(dòng)方向的推/拉力 | 480/80 | 480/80 | 480/80 | 同S | N |
空載諧振頻率 | 3.2 | 2.4 | 1.5 | 同S | kHz±20% |
最大承載 | 5 | 5 | 5 | 同S | kg |
靜電容量 | 1.8 | 3.6 | 7.2 | 同S | μF±20% |
材質(zhì) | 鋁 | 鋁 | 鋁 | 同S | |
重量 | 0.15 | 0.25 | 0.45 | 同S | kg±5% |
出線長 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 同S | m±10mm |
最大驅(qū)動(dòng)電壓可在-20V~150V使用;對(duì)于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動(dòng)電壓0~120V。 | |||||
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