本設備適用范圍:非常適合于工件硬度比較高,厚度超薄,且加工精度要求高的產(chǎn)品。如:LED藍寶石襯底、石英晶片、硅片、諸片、陶瓷片、鎢鋼片以及各種金屬材料的快速減薄。
高精密橫向減薄機設備原理:
1.本系列橫向減薄研磨機為全自動精密磨削設備,由真空吸盤或者電磁吸盤吸附工件與磨輪作相反方向旋轉(zhuǎn)運動,磨輪前后擺動。該方法磨削阻力小、工件不會破損,而且磨削均勻生產(chǎn)效率高;
2.設備可自動對刀、實際檢測磨削扭力、自動調(diào)節(jié)工件磨削速度,從而防止工件磨削過程中因壓力過大產(chǎn)生變形及破損,自動補償砂輪磨損厚度尺寸。
高精密橫向減薄設備特點:
1.可使直徑150晶片厚度減薄到0.08mm厚而不會破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi);
2.減薄效率高,LED藍寶石襯底每分鐘磨削速度最高可減薄48微米。硅片每分鐘磨削速度最高可減薄250微米;
3.系列研磨機采用CNC程控系統(tǒng),觸摸屏操作面板。
高精密橫向減薄機設備規(guī)格:
型號
DY-300WH
金剛石磨輪尺寸
直徑300*H30
工件最大加尺寸
直徑300mm
工件轉(zhuǎn)速(可調(diào))
0---800rpm
磨輪轉(zhuǎn)速(可調(diào))
0---1800rpm
磨輪電機功率
2.2kw.380V,3相
吸盤主軸電機功率
1.1kw.380V,3相
控制精度(平行度)
1um(直徑100mm)
外形尺寸
1500*700*1650
重量
1100kg