A ：耐久性

　無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性，同時也依賴無塵室等級來建造。半導體 Fabs 傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。

B：成本

　微電子 C/R 建設費可能花費到億。fab 能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達到這市場。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而 "錢" 將成為一個很重要的考慮因素。

C ：適應性

　一些廠商認為適應性可節(jié)省一筆金錢，而適應性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致極大的損失。C/R 的擁有者和設計者的能 力為改變一 C/R的關鍵，所以他們從不將最初的設計定型。