表1. D07-7B 型MFC性能指標
編號 | 項目 | D07-7B 型 |
1 | 流量規(guī)格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
2 | 準確度 | ±1.5 % F.S |
3 | 線性 | ±1 % F.S |
4 | 重復精度 | ±0.2 %F.S |
5 | 響應時間 | 電特性: 10 sec |
6 | 工作壓差范圍 | (0.1 ~ 0.5) MPa |
7 | 耐壓 | 3 MPa |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
9 | 輸入輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) |
10 | 電源 | +15 V 50 mA -15V 200 mA |
11 | 外形尺寸 | 見圖4 |
12 | 重量 | 1.1 kg |
注意
:
質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。
質量流量的單位規(guī)定為: SCCM (標準毫升/分);
SLM (標準升/分)
標準狀態(tài)規(guī)定為: 溫度 --- 273.15K ( 0℃);
氣壓 — 101325 Pa (760mm Hg)
F.S. (FullScale): 滿量程值
