應(yīng)用領(lǐng)域：
RGL系列氣氛管式爐主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料的擴(kuò)散、氧化工藝，也可以應(yīng)用于玻璃對金屬的封裝焊接、石英制品的熱處理、LED發(fā)光粉體材料的煅燒等工藝。
主要特點(diǎn)：
采用高純石英管作為內(nèi)爐膛，具有良好的潔凈度
耐火、保溫材料全部采用先進(jìn)的輕質(zhì)纖維制品，整機(jī)能耗低、升溫快
加熱元件采用真空成型FEC陶瓷纖維加熱器
溫控系統(tǒng)采用進(jìn)口多段智能程序溫度控制儀控制，溫度控制具有良好的穩(wěn)定性、重復(fù)性
技術(shù)指標(biāo)：
設(shè)備型號 | RGL(D)-07/75/3 | RGL(S)-09/90/3 | RGL(D)-18/110/3 | RGL(S)-25/100/6 |
*溫度 | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ | 1300℃ |
使用溫度 | RT-1000℃ | RT-1000℃ | RT-1000℃ | RT-1000℃ |
控溫精度 | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ |
溫區(qū)個數(shù) | 3 | 3 | 3 | 6 |
加熱區(qū)長度 | 750mm | 600mm | 1100mm | 1000mm |
爐管材料 | 耐熱鋼管/石英管 | 石英管 | 石英管 | 碳化硅管 |
爐管尺寸 | 70x2200mm | 90x1800mm | 180x2100mm | 250x2100mm |
發(fā)熱元件 | 進(jìn)口電阻絲 | 進(jìn)口電阻絲 | 進(jìn)口電阻絲 | 硅碳棒 |
*裝機(jī)功率 | 8KW | 15KW | 20KW | 60KW |
