MF5000微型氣體質(zhì)量流量計、MEMS熱式質(zhì)量流量計、氣體質(zhì)量流量傳感器

產(chǎn)品簡介：

MF5000微型氣體質(zhì)量流量計采用是（MEMS）流量傳感器芯片技術(shù)和計算機(jī)自適應(yīng)技術(shù)歷經(jīng)多年，開發(fā)出的智能化全電子式氣體質(zhì)量流量儀表，主要技術(shù)性能處于國際領(lǐng)先水平，具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點；針對工業(yè)環(huán)境，融合了多種抗*措施的電磁兼容設(shè)計；且具有多種信號輸出，能通過通訊接口實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能；本產(chǎn)品在性能、安裝和維護(hù)方面也具有其獨特的優(yōu)越性，可廣泛應(yīng)用于石油、燃?xì)?、化工、冶煉、能源等各個領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點：

- 采用微機(jī)電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長技術(shù)，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計的靈敏度大大提高。

- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使該流量計的量程比（范圍度）大大提高。

- 傳感器零點穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)熱式質(zhì)量流量計有極大的改善。

- 結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù)，使流量計重復(fù)性好，實現(xiàn)了計量準(zhǔn)確可靠。

- 技術(shù)進(jìn)步帶來的結(jié)構(gòu)簡化，使流量計較之傳統(tǒng)的機(jī)械式儀表，壓力損失大幅度減小，極大地降低了能源消耗。

- 采用LCD顯示"瞬時流量"和"累計流量"，清晰直觀，讀數(shù)方便。

- 產(chǎn)品融合了電磁兼容設(shè)計技術(shù)，具有更高抗*能力。

- 流量計帶有RS485通訊模塊，配合上位計算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實現(xiàn)集中管理。

- 可以選配4～20mA標(biāo)準(zhǔn)電流信號輸出。

型號通徑（mm）接口（inch）     L          H    W     d       a       b       c

MF5003     3   1/8"        85     124  35     Φ3   25     16     50

MF5006     6   1/4"        95     127  35     Φ6   25     18     50

MF5008  8       3/8"        105  134  35     Φ8   25     22     50

MF5012     12  1/2"      116  137  40     Φ12 30     25     50

MF5019     19  3/4"      152  149  40     Φ19 30     40     70

技術(shù)參數(shù)：

精確度±(1.5+0.2FS)%

測量范圍        0.01~65m/sec  

測量管徑        1~19 mm    

使用環(huán)境溫度: -20~65

顯示瞬時流量; 累計流量

輸出模式        4~20mA; RS485; RS232;0~5V; 脈沖

校準(zhǔn)條件        20oC; 101.325 kPa.

產(chǎn)品選型：

型號通徑(mm)接口(inch)工作壓力(MPa)      測量范圍

                                    sccm         SLPM        SCFM        NCMH

MF5003   3       1/8" 3.0   15-1500   0.15-15            

MF5006   6       1/4" 3.0           0.5-50       0.02-2       0.035-3.5

MF5008   8       3/8" 3.0           1.2-120    0.045-4.5 0.075-7.5

MF5012   12     1/2" 3.0           3-300        0.1-10       0.17-17

MF5019   19     3/4" 3.0           8-800        0.28-28    0.48-48