產(chǎn)品概述: Circuit Scan? 1000

工作狀態(tài)中的半導體芯片會在器件表面附近產(chǎn)生外界磁場。這些磁場，雖然強度弱，卻包含了芯片中電流強度的空間變化信息。微磁公司開發(fā)的CS1000可以實際分析應用這些信息，非損壞性地向工程技術(shù)人員展示芯片內(nèi)部的工作情況。

CS1000是一臺磁掃描顯微鏡。它可以捕獲工作狀態(tài)中的芯片產(chǎn)生的外界磁場，并對這些磁場進行分析，展示出電流強度的分布圖像，其空間分辨度在幾十個納米級別。該系統(tǒng)采用具有知識產(chǎn)權(quán)，超敏感，高空間分辨率的亞微米級的磁傳感器技術(shù)。這一技術(shù)最初由布朗大學的納米物理及器件研究小組開發(fā)成功。

CS1000可以穿過絕緣體或非鐵磁層繪制極小數(shù)量級的電流圖像。它對芯片中電流信號具有非常好的線形關(guān)系。擁有知識產(chǎn)權(quán)的磁傳感器具有寬范圍的頻率響應（0－5GHZ)和好的溫度特性，不需要特殊的環(huán)境要求。另外，CS1000具有杰出的空間分辨度，截至目前，空間分辨度可以達到60納米，遠遠小于目前半導體工業(yè)中先進的器件內(nèi)部的導線寬度。

CS1000一些標準配置及功能，包括光學導航或近紅外線導航，感興趣區(qū)域的選擇，磁場和電流強度圖像的自動重疊，樣品表面探測和繪圖，樣品傾斜度和輪廓曲線自動修正，五種不同的接觸和非接觸掃描模式，1個小接觸面積的垂直磁傳感探頭，光學圖像的自動彌合，自動變化測量參數(shù)的"重復掃描"功能，以及一整套自動矯正功能。

該系統(tǒng)同時包括一套獨立的功能強大的VISTA分析軟件，該軟件具有靈活的數(shù)據(jù)展示方式及解釋形式。一套量化分析軟件用于擇取所有的與電流參數(shù)相關(guān)的信息（包括電流幅度和導線寬度及深度），2套強大的電流強度轉(zhuǎn)換算法，壓縮數(shù)據(jù)文件類型，數(shù)據(jù)圖像輸出為常見文件類型，一套圖像對比軟件以及磁場圖，電流圖，和光學圖的自動疊加功能。

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