三甲基氯硅烷無色透明液體。有揮發(fā)性，在潮濕空氣中易水解而成游離鹽酸。這是由于硅-鹵鍵的特殊活潑性，由三甲基氯硅烷出發(fā)，可以合成一系列含硅-官能團結(jié)構(gòu)的有機硅化合物，如三甲基烷氧基硅烷、六甲基二硅氧烷、六甲基二硅氮烷、三甲基氰基硅烷等。因此，常常密封于陰涼干燥處保存。因為受熱或遇水分解放熱，會放出有毒的腐蝕性煙氣。具有腐蝕性。因此要謹慎使用。

　　2(CH3)3SICL+H20=(CH3)6SI2O+2HCL

　　三甲基氯硅烷要是水解是產(chǎn)生(CH3)6SI2O簡稱MM，也稱作甲基雙封頭，主要用在有機硅硅油的封頭劑，也是終止二甲基環(huán)體硅氧烷的鏈長。常溫常壓下三甲水解不會產(chǎn)生CH4和SIO2的。Si-O鍵的鍵長為1.62×10-10m,鍵能為369kJ/mol，得到的MM很難產(chǎn)產(chǎn)生CH4的。

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